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【48812】我国建成首条光刻用石英玻璃基板成套生产线

来源:hth官网登录入口    发布时间:2024-07-06 15:48:32

  近来,中国建材集团所属中国建材总院根据光刻用石英玻璃基板绿色制作技能,在衢州建成了国内首条从基板原资料制作到产品加工的成套生产线英寸石英玻璃基板,打破了石英玻璃基板原资料以及产品长时间依靠进口的局势。

  该生产线的树立,是中国建材总院承当的“十二五”国家科技支撑方案“高性能石英玻璃、微晶玻璃等特种资料要害研制技能及演示”课题的效果之一。石英玻璃基板是集成电路芯片制作工艺中的中心器材,商场需求量巨大。作为石英玻璃基板的原资料,组成石英玻璃具有热稳定性好、光学均匀性高、耐辐照等许多长处。但是,受原资料纯度、均匀性及加工精度、硬脆特性等限制,我国石英玻璃基板长时间依靠进口。

  通过中国建材总院科研人员的不懈努力,终究构成了一套契合我国职业现状与开展的新趋势的独有工艺道路,不光处理了石英玻璃基板原资料的纯度、均匀性难题,一起完成了原资料绿色制作。该项目还引进多刀切开、安全快速磨抛工艺,创造性地开发了熔拉制坯、数控倒角等技能,处理了石英玻璃基板加工精度的难题。从基板原资料制作到产品加工,中国建材总院构成专利20余项,职业标准、国军标及国家标准10余项,开发出了多种标准的石英玻璃基板、晶圆、透镜等系列新产品,不只逐渐代替进口产品,完成了高性能石英玻璃要害资料及制品的国产化,并且还出口到欧洲、日本等国。

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